晶圓機械人的存在性與位置檢查

兩台光電感測器G2F在晶圓機械人上檢查晶圓是否存在與位置正確與否。光電感測器針對反光、透明及光亮的物件表面具備極高檢測精度,可靠辨識晶圓。G2F的迷你外殼尤其適用於整合至晶圓機械人的細長夾爪。

  • 可使用以下產品系列
    迷你規格彰顯出色性能
    • 超扁平外殼適合極其狹窄的安裝空間
    • BGS:物件識別距離始自8 mm
    • 檢測尺寸0.1 mm及以上的物件
    • 可靠識別深黑色、反光、透明和光亮的物件
    • PinPoint LED針點式光點
    • VISTAL®外殼,鋼制安裝板
    • 可根據OEM要求客製化調整