Snabb och exakt waferdetektering

Den exakta positioneringen av wafern i robotgrippern i förhållande till dess släppningskoordinater kan optimeras med hjälp av flera sensorer genom styrning av robotkontrollen. För detta krävs sensorer med hög kopplingsfrekvens, låg jitternivå och exakt ljuspunkt. Fiberförstärkaren WLL180T med endast 16 µs reaktionstid i kombination med ljusledarna LL3-TH med liten optik arbetar med hög precision och till låg kostnad, och är perfekt anpassad till maskinens krav.