Säker dörrövervakning vid tillverkning av halvledarwafers

Processmaskiner för tillverkning av halvledarwafers har många åtkomstdörrar. Säkerhetsbrytaren STR1 och den säkra styrningen Flexi Compact övervakar dessa åtkomstdörrar. Tack vare den säkra sensorkaskaden Flexi Loop är ledningarna extra enkla och effektiva. Den individuella övervakningen av sensorerna med detaljerad diagnos leder också till en snabb problemlösning.

  • Följande produktfamiljer kan användas
    Liten RFID-säkerhetsbrytare för dörrövervakning med manipulationsskydd
    • Aktiveringsområde upp till 14 mm
    • Litet hus med flexibla monteringsmöjligheter
    • Sensorn kan aktiveras från tre sidor
    • Fyra olika aktivatorer finns
    • Universellt kodade, tydligt kodade och permanent kodade sensorer
    • PL e (EN ISO 13849), SIL3 (IEC 61508)
    • Säker sensorkaskad med upp till 30 sensorer
    Safety under control – kompakt, enkel och effektiv
    • Programmerbar säkerhetsstyrenhet med en modulär hårdvaruplattform
    • Kraftfull Safety-over-EtherCAT®-bakplanbuss
    • Användarvänlig kåpa med smal konstruktion
    • Intuitiv konfigurationsprogramvara Safety Designer
    • Datakommunikation i vanliga fältbussystem
    • Säker seriekoppling med Flexi Loop
    Säker och ekonomisk serieanslutning med diagnostisk funktion
    • Säker serieanslutning av upp till 32 tillverkaroberoende sensorer
    • Upp till 100 m kabellängd mellan varje sensor
    • IP-klassning IP65 och IP67
    • Integrering via M12-standardkabel
    • Individuell övervakning av sensorer upp till PL e
    • Detaljerad diagnostisk information
    • Direkt spänningsförsörjning