Positionsövervakning av waferbärare
Waferbärarens position går att fastställa tillförlitligt med absolutgivare: med en AFS60 Singleturn på vertikalaxeln och en AFM60 Multiturn på horisontalaxeln. Fältbuss- och Industrial-Ethernet-gränssnitt gör att pulsgivarna går att integrera smidigt och kostnadseffektivt i maskinstyrningen och att de fungerar även vid extrema omgivningsförhållanden som höga temperaturer.