Höjdmätning för fokusinställning

Inspektions- och lasersystem med hög precision inom halvledar- och displaytillverkning kräver optiksystem med mycket exakt fokusering. Mätsensorn för felaktig plats OD5000 kan registrera substratets höjdprofil med mikrometerprecision genom upp till 80 000 mätningar i sekunden. Dessa data används för att styra fokusläget för att uppnå optimala processresultat.