Cleanrooms in de halfgeleiderproductie zijn duidelijk hun terrein: robots in alle vormen zijn hier aan de orde van de dag. Spoorgeleid, stationair of mobiel tijdens de productie en het laden en lossen. Mobiele robots worden hierbij steeds belangrijker. In tegenstelling tot spoorgeleide systemen zijn zij flexibeler en kunnen zij zich vrij in de ruimte bewegen. Voor het transport van wafers - de siliciumplakken waarop microchips ontstaan - zijn ze voor de specialisten van Fabmatics al een vast bestanddeel van de ontwikkeling van intelligente robotsysteemoplossingen. Vooral bij de vrij bewegende HERO®FAB spelen op het gebied van veiligheid en positionering van de grijparm veiligheidslaserscanners en fotocellen van SICK een doorslaggevende rol. Op het eerste gezicht niet altijd direct herkenbaar, maar als verborgen ‘helden van veiligheid’ in de HERO®FAB.
Geen halve maatregelen - Fabmatics en SICK maken mobiele robots veilig
Specialisten in de halfgeleiderproductie
Fabmatics GmbH uit Dresden ontwikkelt intelligente automatiserings- en robotsysteemoplossingen voor klanten uit de halfgeleiderindustrie. Hier beschikt de onderneming over de unieke competentie om complexe automatiserings-, robot- en handlingsystemen aan te bieden voor gebruik onder cleanroom-omstandigheden. Een verantwoordelijke taak: ‘Tenslotte transporteren wij binnen de halfgeleiderproductie zeer waardevolle goederen met onze verschillende robots. Het komt dagelijks voor dat één van onze robots de waarde van een gezinswoning op ’zijn schouders’ draagt,’ zegt Martin Däumler, Group Manager Product Development & System Integration bij Fabmatics. Dit maakt het des te belangrijker om betrouwbare oplossingen te vinden. Onder andere met de hulp van partners als SICK worden de voorwaarden geschapen voor een veilige mobiliteit. Zowel hardware als software, van planning en ontwikkeling via productie en installatie tot after sales , worden uit één enkele bron aangeboden. De S300 Expert veiligheidslaserscanner en, in de toekomst, microScan3 zullen hier taken op zich nemen in horizontale en verticale beveiliging in de ruimte. De miniatuur-sensoren uit de W2S-2 productfamilie vormen een intelligente sensoroplossing voor laden en lossen door de grijparm - klein, slim en licht.
Mobiel in de cleanroom
Door HERO®FAB komt er mobiliteit in de cleanroom. Het combineert een solide, schoon en veilig robotsysteem met een innovatief automatisch geleid transportplatform. Het werd ontwikkeld om productie-installaties volautomatisch te laden en te lossen en om snel transport tussen afzonderlijke processtappen en ook tussenopslag in de cleanroom mogelijk te maken. Het kan tot vier containers verplaatsen - in de cleanroom meestal containers voor het vervoer van 25 wafers van 200 mm of 300 mm elk. Maar ook speciale uitvoeringen van de HERO®FAB met grote 60l waterbassins worden gebruikt. Gebaseerd op een van oorsprong beproefde railoplossing HERO®Rail, biedt de verdere ontwikkeling van de HERO®FAB de mogelijkheid om zich vrij in de cleanroom te bewegen zonder rail- of kabelverbinding. Dankzij de veiligheidslaserscanners van SICK komt de mobiele robot naast de veiligheid van objecten, de meest veeleisende veiligheidsuitdagingen van interactie tussen mens en machine in dezelfde werkruimte tegemoet. Afhankelijk van de mate van interactie en de plaatselijke eisen wordt de veiligheid van personen op verschillende niveaus gewaarborgd.
Perfect voor krappe ruimtes
De miniatuur-sensoren van de W2S-2 productfamilie geleiden de robotarm veilig en betrouwbaar bij het grijpen van waardevolle goederen. Een bijzonder kenmerk hierbij is hun grootte. Installatieruimte is schaars, vooral in de mobiele robotsystemen. In de robot neemt de besturing alleen al ongeveer 80% van de beschikbare ruimte in. Daarom viel hier de keuze op de W2S-2. De ultraplatte G2 vlakke sensoren kunnen worden geïntegreerd in miniatuursystemen en zeer krappe installatieruimtes. Ze maken ook indruk met een uitstekende detectie dankzij de krachtige achtergrondonderdrukking. Zelfs zeer kleine objecten op een afstand van 8 mm worden probleemloos gedetecteerd en ook diepzwarte, spiegelende, transparante en glanzende objecten worden betrouwbaar gedetecteerd.
Bewezen interfaces voor de toekomst
Om de veiligheidscontroller in een mobiele robot te kunnen integreren, is eenvoudige installatie een ander voordeel. Het Safe EFI-pro systeem is de consequente doorontwikkeling van de succesvolle EFI-interface en maakt de intelligente beveiliging van de mobiele robot mogelijk. De op Industrial-Ethernet gebaseerde netwerktechnologie EFI-pro wisselt veilige en niet-veilige gegevens uit en verzendt deze over alle communicatieniveaus. Het centrale component is de EFI-pro-gateway. Deze zorgt voor een snelle en veilige netwerkverbinding en voor de directe integratie van robotcontrollers via EtherNet/IPTM CIP SafetyTM in de veiligheidscontroller Flexi Soft. Safe EFI-pro System vormt dus een beslissende stap in de richting van digitale transformatie.
Samen de toekomst tegemoet
Voor Martin Däumler en Meik Kettinger, Key Account Manager Electronic & Solar bij SICK, is de technische rijpheid van SICK’s oplossingen een goed argument voor toekomstige samenwerking: ‘Onze ontwikkeling is een dynamisch proces. SICK is een ideale partner, vooral wat betreft de technische vereisten, het opstellen van specificaties, en de snelle reactietijd op vragen en het uitwisselen van ideeën,’ beschrijft Däumler, en Kettinger vult aan: ‘We groeien samen met onze klanten met de taken mee - dat is wat ons elke dag aanspoort!’
De basis voor de succesvolle samenwerking is de diepgaande kennis en het hoge niveau van technische expertise. Zo zullen de partners hun succesvolle weg samen ook in de toekomst voortzetten. De voortdurende doorontwikkeling in de mobiele robotsystemen beperkt zich niet tot de halfgeleiderindustrie en houdt niet op bij andere branches. Zij kijken dus samen uit naar de taken van morgen en zijn bereid hun gezamenlijke knowhow over te dragen aan de farmaceutische industrie of de medische techniek.
Verdere artikelen
Mobiele robot van SUitee Cobotics zorgt voor revolutie van het werk in de supermarkt
Ultracompacte mobiele robots optimaliseren procesketen
Licht aan de horizon - desinfectie met behulp van UV-licht en nanoScan3
Cobots Claus en Clara: samenwerkende robotsystemen met SICK-safety
Mobiele robots:
Move into new dimensions
Robotsystemen vinden meer hun weg – of het nu is in de productie, in de logistiek of op servicegebied. Sensoroplossingen voor alle varianten van mobiele robots