Zaaglijnen inspecteren met behulp van displacement-sensoren

Door het meten van de diepte van zaaglijnen direct na het draadzagen kunnen afgekeurde wafers voor zonnecellen reeds in een vroeg stadium worden afgevoerd. De displacement-sensor OD5000 heeft een hoge meetfrequentie waardoor een superprecieze zaaglijninspectie kan worden gecombineerd met een hoge processnelheid.