Positiebewaking van waferdragers

De positie van de wafeldrager kan betrouwbaar worden bepaald met absolute encoders: met de AFS60 Singleturn op de verticale as en de AFM60 Multiturn op de horizontale as. Dankzij de veldbus- en Industrial ethernet-interface kunnen de encoders eenvoudig en voordelig in de machinebesturing worden geïntegreerd en kunnen ze zelfs onder extreme omgevingsomstandigheden, zoals hoge temperaturen, worden gebruikt.

  • Volgende productfamilies kunnen worden gebruikt
    Intelligent, sterk presterend, nauwkeurig
    • Absolute 30 bit-encoder met hoge resolutie
    • Geïntegreerde webserver en FTP-server
    • DLR (Device-Level-Ring)
    • Functiebouwsteen
    • Omvangrijke diagnosefuncties
    • IP-adressering met software of hardware
    • Ronde-asfunctionaliteit (transmissieberekening)
    Compact, robuust, sterk presterende
    • Robuuste absolute multiturn-encoder tot 31 bit (14 bit singleturn en 17 bit multiturn)
    • Klemflens, servoflens of blinde holle as
    • Compact design (<70 mm)
    • Geïntegreerde PROFIBUS-interface met DP V0-, V1- en V2-functionaliteit (afhankelijk van type)
    • Aansluitmodule: 3x M12 stekker
    • Isolatieklasse tot IP 67
    • Temperatuurbereik: –30 tot +80 °C (afhankelijk van type)