Hoogtemeting voor focusverstelling

Voor superprecieze inspectie- en lasersystemen in de halfgeleider- en displayproductie zijn optische systemen nodig met zeer precieze focussering. De displacementsensor OD5000 kan met 80.000 metingen per seconde een op de micrometer precies hoogteprofiel van het substraat detecteren. Aan de hand van deze gegevens kan de focuspositie worden geregeld om optimale procesresultaten te bereiken.

  • Volgende productfamilies kunnen worden gebruikt
    De krachtige meetexpert
    • Meetfrequentie tot 80 kHz
    • Ethernet-interface met, TCP/IP-protocol direct in de sensorkop
    • Webserver-gebruikersinterface voor parametrering
    • Innovatief analyse-algoritme
    • Hoogste herhalingsprecisie voor positioneeropgaven
    • Herkennen en meten van zeer kleine verlagingen of gaten