Wafer-Fab 자동화 기술

Wafer-Fab 자동화 기술
안전 레이저 스캐너를 이용한 충돌 방지
전동 오버헤드 컨베이어 운행 경로 제어
FOUP 운반 시스템의 포지셔닝
FOUP 운반 시스템의 포지셔닝
FOUP 운반 시스템의 포지셔닝
애플리케이션
수동 로드 포트 적재