웨이퍼 로봇에서 존재 유무 및 위치 검사

두 대의 광전 센서 G2F가 웨이퍼 로봇에서 웨이퍼의 존재 유무와 올바른 위치를 점검합니다. 이 광전 센서는 반사 표면, 투명 표면, 광택 표면에서 감지 정확도가 매우 높으므로 웨이퍼를 확실하게 감지할 수 있습니다. G2F의 미니어처 하우징은 특히 웨이퍼 로봇의 슬림한 그리퍼에 통합하기에 적합합니다.