초점 조정을 위한 높이 측정

반도체나 디스플레이 생산에서 고정밀 점검 및 레이저 시스템은 초점을 매우 정밀하게 조정하는 광학 시스템을 필요로 합니다. 변위 센서 OD5000은 초당 최대 80,000회 측정을 통해 기판의 높이 프로필을 마이크로미터 단위로 정밀하게 측정할 수 있습니다. 이 데이터를 가지고 초점 위치를 제어함으로써 최적의 공정 결과를 얻을 수 있습니다.

  • 다음 제품 라인을 사용할 수 있습니다.
    성능이 뛰어난 프로페셔널 측정기
    • 최대 80kHz에 이르는 측정 빈도
    • 센서 헤드에 바로 내장된, TCP/IP 프로토콜을 이용하는 Ethernet 인터페이스
    • 파라미터화를 위한 웹 서버 인터페이스
    • 혁신적 평가 알고리즘
    • 포지셔닝 과제에 적격인 최고의 반복 정확도
    • 미세한 홈이나 구멍의 감지 및 측정