ショートレンジ距離センサ (変位) によるソーマーク点検

와이어 소 공정 직후 소 마크 깊이를 측정하므로 불량 태양광 웨이퍼를 가능한 한 빨리 골라낼 수 있습니다. 변위 센서 OD5000은 측정 빈도가 높아서 고정밀 소 마크 검사에 적합한 빠른 공정 사이클 타임이 가능합니다.