位置決めを行うアブソリュートエンコーダによるソーワイヤの監視および制御

ソーワイヤの正確な使用は、適切なエンコーダを使用することを前提としています。SICKのアブソリュートエンコーダMultiturnは、ウェハの損傷を最小限に抑えます。エンコーダは、ソーワイヤの正確な位置を点検し、データをこのプロセスのために必要な分解能で伝送します。この製品群は、他のエンコーダのインタフェースを使用することができ、それによりメンテナンスと在庫管理を簡素化します。