自動ロードポート搬送・FOUP識別

高価な半導体ウェーハについては、その材料破損リスクをできる限り低く抑える必要があります。例えばFOUP (Front-Opening Unified Pod 密閉型のウェハ格納用ポッド) の下降時のジッタが過剰ではないかどうかを監視するためには、センサ技術が使用されます。超小型リフレクタ形光電スイッチWL100Lは、これらの望ましくない動作を検知します。この光電スイッチは、クラス1のレーザセンサであるため、オペレータに危険を及ぼすことはありません。わずか180 gと軽量で、省エネ仕様 (3 W) のワイヤエンコーダEcoLineは、FOUPの正確な位置を供給します。製造工程におけるFOUPつまりウェーハの所在位置に関する情報は、効果的なプロセス制御の前提条件です。RFIDや1Dまたは2Dコードリーダのどれでも、SICKの4Dproコンセプトに従ってすべて同一の接続技術とユーザインタフェースが採用されているため、問題なく組み込むことができます。

  • 以下の製品群を使用することができます
    どのような光でも完璧な視界
    • インテリジェントな復号アルゴリズムおよび高性能DPMデコーダ
    • 外乱光に対する優れた耐性
    • 高輝度LED (赤色、青色、赤外光)
    • 偏光フィルタまたはドームアタッチメントなどの柔軟な光学アクセサリ
    • 回転可能なコネクタユニット付きのコンパクトな構造
    • オートフォーカス、レーザ照準補助機能、緑色のフィードバックLEDによるセットアップアシスタント
    • パラメータおよび画像保存用のmicroSDカード
    • 包括的な仕分け/フィルタリング/出力フォーマットを備えた革新的なデータハンドリング
    RFIDでインテリジェントに識別
    • 最大240 mmの読み取り範囲に対応可能な13.56 MHz RFIDリーダ/ライタ
    • ICタグ通信はISO 15693規格に準拠
    • 内蔵アンテナを搭載したコンパクトで産業用デザイン
    • 統合されたプロトコルにより、標準フィールドバス技術へアクセス可能
    • 高性能のプロセッサが独自に制御タスクを解決
    • 柔軟なトリガ制御
    • microSDメモリカードを使用してパラメータクローニングをサポート
    • 統合された診断機能
    パワフルなスキャナ – 柔軟な使用
    • CAN、Ethernet TCP/IP、PROFINETおよびEtherNet/IP搭載。別のイーサネットゲートウェイは不要 (接続タイプ「Ethernet」の場合)
    • SMART620コード復元
    • 非常にフレキシブルな仕分けおよびフィルタ機能
    • SICKの全製品向けSOPAS、コンフィグレーションツールによる設定
    • 1,200 Hzまでの高いスキャン頻度
    • 小型の筺体
    • 遠隔診断およびネットワーク監視の拡張機能がEthernetを介して使用可能
    • 保護等級IP 65またはIP 69K (タイプによる)
    小型設計のモジュール式ワイヤエンコーダ
    • 測定長さ: 1.25 m ... 10 m
    • 豊富なインタフェース/測定長さを備えたモジュール式測定システム
    • 測定ドラムにスプリングを組み込んだ非常に小型でスリムな筐体 (55 mm ... 190 mm)
    • 軽量でありながら、耐衝撃性と耐熱性に優れたプラスチック製筐体
    • エンコーダのティーチイン機能付きアナログインタフェース
  • 以下の製品を使用することができます
    光電センサ
    W100 Laser
    • 最大検出距離: 0.08 m ... 12 m
    • センサ原理: リフレクタ形光電センサ
    • 検出原理: デュアルレンズ
    • スイッチング出力: PNP
    • スイッチ出力タイプ: ライト/ダークオン
    • 接続タイプ: ケーブル、3芯, 2 m
    • 投光器: レーザー
    • 設定: ポテンショメータ
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    光電センサ
    W100 Laser
    • 最大検出距離: 0.08 m ... 12 m
    • センサ原理: リフレクタ形光電センサ
    • 検出原理: デュアルレンズ
    • スイッチング出力: NPN
    • スイッチ出力タイプ: ライト/ダークオン
    • 接続タイプ: ケーブル、3芯, 2 m
    • 投光器: レーザー
    • 設定: ポテンショメータ
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    光電センサ
    W100 Laser
    • 最大検出距離: 0.08 m ... 12 m
    • センサ原理: リフレクタ形光電センサ
    • 検出原理: デュアルレンズ
    • スイッチング出力: PNP
    • スイッチ出力タイプ: ライト/ダークオン
    • 接続タイプ: M8オスコネクタ、4ピン
    • 投光器: レーザー
    • 設定: ポテンショメータ
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    光電センサ
    W100 Laser
    • 最大検出距離: 0.08 m ... 12 m
    • センサ原理: リフレクタ形光電センサ
    • 検出原理: デュアルレンズ
    • スイッチング出力: PNP
    • スイッチ出力タイプ: ライト/ダークオン
    • 接続タイプ: M8オスコネクタ、3ピン
    • 投光器: レーザー
    • 設定: ポテンショメータ
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    光電センサ
    W100 Laser
    • 最大検出距離: 0.08 m ... 12 m
    • センサ原理: リフレクタ形光電センサ
    • 検出原理: デュアルレンズ
    • スイッチング出力: NPN
    • スイッチ出力タイプ: ライト/ダークオン
    • 接続タイプ: M8オスコネクタ、4ピン
    • 投光器: レーザー
    • 設定: ポテンショメータ
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    光電センサ
    W100 Laser
    • 最大検出距離: 0.08 m ... 12 m
    • センサ原理: リフレクタ形光電センサ
    • 検出原理: デュアルレンズ
    • スイッチング出力: PNP
    • スイッチ出力タイプ: ライト/ダークオン
    • 接続タイプ: M8オスコネクタ、3ピン
    • 投光器: レーザー
    • 設定: ポテンショメータ
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    光電センサ
    W100 Laser
    • 最大検出距離: 0.08 m ... 12 m
    • センサ原理: リフレクタ形光電センサ
    • 検出原理: デュアルレンズ
    • スイッチング出力: NPN
    • スイッチ出力タイプ: ライト/ダークオン
    • 接続タイプ: M8オスコネクタ、3ピン
    • 投光器: レーザー
    • 設定: ポテンショメータ
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    光電センサ
    W100 Laser
    • 最大検出距離: 0.08 m ... 12 m
    • センサ原理: リフレクタ形光電センサ
    • 検出原理: デュアルレンズ
    • スイッチング出力: PNP
    • スイッチ出力タイプ: ライト/ダークオン
    • 接続タイプ: M12オスコネクタ付きケーブル、4ピン, 0.2 m
    • 投光器: レーザー
    • 設定: ポテンショメータ
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    光電センサ
    W100 Laser
    • 最大検出距離: 0.08 m ... 12 m
    • センサ原理: リフレクタ形光電センサ
    • 検出原理: デュアルレンズ
    • スイッチング出力: PNP
    • スイッチ出力タイプ: ライト/ダークオン
    • 接続タイプ: M12オスコネクタ付きケーブル、4ピン, 0.2 m
    • 投光器: レーザー
    • 設定: ポテンショメータ
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