ウェーハロボットでの存在・位置監視

2台の光電センサG2Fは、ウェーハロボットにウェーハが存在しているかどうか、および正しい位置にあるかどうかをチェックします。反射性のある対象物表面、および透明や光沢のある対象物表面での光電センサの非常に高い検出精度により、信頼性の高いウェーハ検出が実現されます。G2Fの超小型筐体は、ウェーハロボットの細長いグリッパへの統合に特に適しています。

  • 以下の製品群を使用することができます
    超小型フォーマットで提供される最高性能
    • 非常に狭い取付スペースに取付可能な極めて平らな筐体
    • BGS: 検出に必要な対象物との最小間隔は8 mm
    • 検出可能な対象物の最小サイズは0.1 mm
    • 漆黒、反射性、透明および光沢性の対象物を確実に検出
    • ピンポイントLED
    • VISTAL®筐体、ステンレススチール製取付プレート
    • 各OEM要件に合わせて調整可能

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