Mesure de dommages de sciage sur les plaquettes
La qualité de la surface des plaquettes sciées est contrôlée et les défectueuses sont éliminées le plus tôt possible. Les imprécisions de sciage par décalages du fil sont détectés avec le capteur de distance OD Precision (précision de répétabilité > 1 μm). Trois têtes de lecture peuvent être connectées avec une unité d'analyse. Le taux de rejet est ainsi réduit.
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Les familles de produits suivantes peuvent être utilisées
Une détermination très précise de chaque dimension- Plusieurs plages de mesure de 24 mm ... 26 mm à 300 mm ... 700 mm
- Mesure indépendante de la surface avec le récepteur CMOS
- Précision et fréquence de la mesure élevées
- Mesure de l'épaisseur du verre avec une seule tête de capteur
- Plusieurs tailles de spot lumineux
- Compensation intégrée de trois capteurs max.
- Fonctionnement autonome par RS-422