Mesure du diamètre d'un lingot de silicium

Le capteur de distance OD Precision a pour fonction de mesure avec une haute précision le lingot pour obtenir le meilleur rendement possible en matière de plaquettes. La surface inégale et brillante ne constitue pas un problème et ne requiert aucun recalibrage chronophage.

  • Les familles de produits suivantes peuvent être utilisées
    Une détermination très précise de chaque dimension
    • Plusieurs plages de mesure de 24 mm ... 26 mm à 300 mm ... 700 mm
    • Mesure indépendante de la surface avec le récepteur CMOS
    • Précision et fréquence de la mesure élevées
    • Mesure de l'épaisseur du verre avec une seule tête de capteur
    • Plusieurs tailles de spot lumineux
    • Compensation intégrée de trois capteurs max.
    • Fonctionnement autonome par RS-422