Inspection du bloc de silicium
Des données 3D sont absolument indispensables pour la maximisation des rendements des plaquettes à partir d'un bloc de silicium. La caméra Smart IVC-3D est assortie d'un logiciel de traitement d'image sophistiqué. Ainsi, l'analyse des surfaces défectueuses sur des briques à faible contraste est effectuée de manière automatisée. De plus, l'IVC-3D prend les cotes précises.