Sikker overvågning af døre i produktionen af halvlederwafere
Procesmaskiner til produktionen af halvlederwafere har mange adgangsdøre. Sikkerhedsafbryderen STR1 og sikkerhedsstyringen Flexi Compact overvåger disse adgangsdøre. Med den sikre sensorkaskade Flexi Loop er kabelføringen særdeles nem og effektiv. Overvågningen af enkelte sensorer ved hjælp af detaljeret diagnose betyder desuden, at man hurtigt kan løse problemer.