Positionsregistrering af waferrobotter via motor-feedback
Det kontaktfrie hulaksel-motor-feedbacksystem SEK90 med holistisk scanning anbefales på grund af dets enkelthed og robusthed og besidder stort set intet potentiale for mekaniske fejl. Særdeles lav vægt, minimal masseinerti og lille størrelse (< 10 mm) er egenskaber, der letter integrationen ved forskellige skaftdiametre.