Positionsovervågning af wafertransportører
Wafertransportørens position kan bestemmes pålideligt med absolut-encodere: Med AFS60 singleturn på den lodrette og AFM60 multiturn på den vandrette akse. Takket være feltbus- og Industrial-Ethernet-interface kan encoderne integreres nemt og billigt i maskinstyringen, og de kan selv anvendes ved ekstreme omgivelsesbetingelser såsom høje temperaturer.