Hurtig og præcis waferdetektion
Waferens nøjagtige positionering i robotgriberen i relation til dens fralægningskoordinater kan optimeres af robotcontrollerens styring ved hjælp af flere sensorer. Til det formål kræves sensorer med maksimal skiftefrekvens, små udsving og præcis lysplet. Lysledersensoren WLL180T med en reaktionstid på kun 16 µs i kombination med lyslederne LL3-TH med lille optik arbejder yderst præcist og økonomisk og er perfekt skræddersyet til maskinens krav.