Højdemåling til indstilling af fokus

Meget præcise inspektions- og lasersystemer i halvleder- og displayproduktionen kræver optiske systemer med meget præcis fokus. Med op til 80.000 målinger i sekundet kan short-range-afstandsmåleren (displacement) OD5000 registrere et substrats højdeprofil med mikrometers nøjagtighed. Med disse data kan man styre fokuspositionen og dermed opnå optimale procesresultater.