Højdemåling til indstilling af fokus
Meget præcise inspektions- og lasersystemer i halvleder- og displayproduktionen kræver optiske systemer med meget præcis fokus. Med op til 80.000 målinger i sekundet kan short-range-afstandsmåleren (displacement) OD5000 registrere et substrats højdeprofil med mikrometers nøjagtighed. Med disse data kan man styre fokuspositionen og dermed opnå optimale procesresultater.
-
Følgende produktfamilier kan indsættes
Den effektive måleekspert- Målefrekvens på op til 80 kHz
- Ethernet-interface med TCP/IP-protokol direkte på sensorhovedet
- Webserverflade til parametrering
- Innovativ analysealgoritme
- Maksimal gentagelsesnøjagtighed til positioneringsopgaver
- Registrering og måling af meget små fordybninger og huller