Füllstandmessung bei korrosiven Chemikalien in Solarwafer-Prozessanlagen

26.05.2017

In vielen Industrien gehören herausfordernde Umgebungsbedingungen unterschiedlichster Art zum Produktionsalltag. Systeme und Sensoren, die für einen sicheren Produktionsablauf sorgen, brauchen besonderen Schutz vor starker Verschmutzung oder aggressiven Chemikalien. In den Kernprozessen der Solarzellenfertigung z. B. sind Chemikalien für die Oberflächenbearbeitung und Reinigung der Solarwafer unverzichtbar. Die Füllstände der Chemikalientanks müssen ständig über Sensoren kontrolliert werden. Präzise und kontinuierliche Ergebnisse liefern die Teflon®-ummantelten Ultraschall-Füllstandsensoren UP56 Pure.   Chemikalien für die Halbleiter- und Solarzellenproduktion lagern fertigungsnah, jedoch schlecht zugänglich in Vorlage- oder Mischtanks in den Nassprozessmaschinen. Eine gängige Methode, den Füllstand zu ermitteln, ist der Einsatz kapazitiver Sensoren. Damit die Sensoren vor den Chemikalien geschützt sind, befinden sie sich außen an der Tankwand oder an einem Bypassrohr. Meist sind mehrere Sensoren in unterschiedlichen Höhen am Tank befestigt und manuell ausgerichtet. Sie übermitteln zwar Grenzstände, leisten aber keine kontinuierliche Füllstandmessung. UP56-Pure-Tanks Lagerung von Chemikalien in schlecht zugänglichen Tanks. Ultraschall-Füllstandsensoren UP56 Pure und UP56 Pure Mini.

 

Ultraschall im Tank

Eine präzise und kontinuierliche Füllstandmessung ist jedoch gerade bei aggressiven Chemikalien unverzichtbar, um die Prozesssicherheit zu gewährleisten. Deshalb hat SICK eine Lösung entwickelt, die eine kontinuierliche Füllstandmessung zwischen den Schaltpunkten mithilfe von Ultraschalltechnologie ermöglicht. Die berührungslos arbeitenden Ultraschall- Füllstandsensoren der Produktfamilie UP56 Pure sind Spezialisten für nasschemische Prozesse der Elektronik und Solarindustrie, denn PTFE-Materialien schützen den Ultraschallsensor vor aggressiven Flüssigkeiten. Polytetrafluorethylen (PTFE), auch Teflon® genannt, ist ein Spezialkunststoff, der in Nassprozessmaschinen häufig verwendet wird. Der Wandler des Füllstandsensors ist mit einer PTFE-Schicht überzogen, während der Anschlussflansch aus massivem PTFE besteht. Daher kann der UP56 Pure direkt im Tauchrohr an der oberen Tankinnenseite angebracht werden. Über Ultraschallwellen misst er die Entfernung zwischen Sensor und Flüssigkeit und übermittelt kontinuierlich Füllstände. Niveauveränderungen der Flüssigkeit erfasst der Sensor sofort. Bei Anlagen mit sehr beengten Einbausituationen ist der UP56 Pure Mini mit seiner sehr kompakten Bauweise die richtige Wahl. UP56-Pure-Product Ultraschall-Füllstandsensoren UP56 Pure und UP56 Pure Mini.

  

Präzise, effizient und wartungsfreundlich

Durch den PTFE-geschützten Wandler ist der UP56 Pure extrem widerstandsfähig und langlebig und damit besonders geeignet für den Einsatz in hochkonzentrierten Säuren und Laugen. Direkt im Tank eingesetzt, macht der UP56 weiteres Zubehör wie außenseitige Bypassrohre oder Messschächte überflüssig. Weil nur ein Sensor erforderlich ist, entfällt auch die fehleranfällige mechanische Positionierung mehrerer kapazitiver Sensoren. UP56 Pure integriert sich problemlos in die Maschinenabläufe, mit seinen digitalen und analogen Ausgängen lässt er sich einfach elektrisch einbinden. Der Ultraschallsensor ist mit einem branchenüblichen Flansch ausgerüstet und wird mit einer Überwurfmutter fixiert. Mechanisch ist der Ultraschallsensor daher mit allen industrietypischen Anschlüssen kompatibel. Eine Software ermöglicht die kunden- und applikationsspezifische Programmierung des Sensors. Über die Software kann der zuständige Mitarbeiter die Parameter der Produktionssituation anpassen und die Nachfüllzeitpunkte optimieren. Das steigert die Prozesssicherheit, trägt zu einer nachhaltigen Verwendung der Betriebsmittel bei und minimiert Fertigungskosten: Eine genaue Bemessung des Chemikalienverbrauchs verhindert einerseits Produktionsstillstände durch leere Tanks und andererseits die Verschwendung von Chemikalien durch überflüssiges Nachfüllen.  

 

Bei Bedarf robust

Gemeinsam mit seinen Kunden prüft SICK genau, welche Arbeitsbedingungen den UP56 Pure in der jeweiligen Produktionsumgebung erwarten. Die so geschaffene Kombination umfangreicher Sensorexpertise und bester Prozesskenntnis ermöglicht eine maßgeschneiderte und aufwandsarme Implementierung des Sensors. Ergänzend können robuste Produkte von SICK auch an anderen Stellen nasschemische Prozesse absichern. Teflon®-ummantelte kapazitive Näherungssensoren der Produktfamilie CM18 PTFE dienen z. B. der Leckagedetektion im Sicherheitsauffangbecken unter den Chemikalientanks. Auftretende Lecks und in die Sicherheitswannen fließende Chemikalien werden erkannt, über die Maschinensteuerung gemeldet und umgehend vom Servicepersonal beseitigt.