Vermessung von Sägeschäden auf Solarwafern
Gesägte Wafer werden auf Oberflächengüte überprüft und zum frühesten Zeitpunkt aussortiert. Sägeungenauigkeiten durch Drahtverätze werden mit dem Distanzsensor OD Precision (Wiederholgenauigkeit > 1 μm) erkannt. Drei Leseköpfe können mit einer Auswerteeinheit verbunden werden. Dadurch wird Ausschuss reduziert.
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Folgende Produktfamilien können eingesetzt werden
Jede Dimension hochgenau bestimmen- Zahlreiche Messbereiche von 24 mm ... 26 mm bis zu 300 mm ... 700 mm
- Oberflächenunabhängige Messung mittels CMOS-Empfangselement
- Höchste Messgenauigkeit und Messfrequenz
- Glasdickenmessung mit nur einem Sensorkopf
- Unterschiedliche Lichtfleckgrößen
- Integrierte Verrechnung von bis zu drei Sensoren
- Stand-alone-Nutzung via RS-422