Messung des Durchmessers eines Silizium-Ingots

Der Distanzsensor OD Precision dient zur exakten Vermessung der Ingots, um den optimalen Ertrag an Wafern aus den Ingots zu erhalten. Die ungleichmäßige und glänzende Oberfläche stellt keine Schwierigkeiten dar und erfordert keine zeitaufwendige Neukalibrierung.

  • Folgende Produktfamilien können eingesetzt werden
    Jede Dimension hochgenau bestimmen
    • Zahlreiche Messbereiche von 24 mm ... 26 mm bis zu 300 mm ... 700 mm
    • Oberflächenunabhängige Messung mittels CMOS-Empfangselement
    • Höchste Messgenauigkeit und Messfrequenz
    • Glasdickenmessung mit nur einem Sensorkopf
    • Unterschiedliche Lichtfleckgrößen
    • Integrierte Verrechnung von bis zu drei Sensoren
    • Stand-alone-Nutzung via RS-422