Inspektion des Siliziumblocks
Für die Maximierung der Wafererträge aus einem Siliziumblock sind 3D-Daten unerlässlich. Die Smart-Kamera IVC-3D verfügt über eine hochentwickelte Bildverarbeitungssoftware. So wird die Auswertung fehlerhafter Oberflächen auf kontrastarmen Bricks erfolgreich automatisiert. Des Weiteren erfasst die IVC-3D die genaue Bemaßung.