Automatische Load-Port-Beschickung und FOUP-Identifikation

Das Risiko von Materialbruch der teuren Halbleiterwafer muss möglichst gering gehalten werden. Hierfür wird Sensorik eingesetzt, z. B. zur Überwachung, ob ein FOUP (Front Opening Unified Pod) beim Absenken nicht zu sehr schwankt. Die Miniatur-Lichtschranke WL100L erkennt diese unerwünschten Bewegungen. Als Lasersensor der Klasse 1 ist sie für den Bediener gefahrlos. Der Seilzug-Encoder EcoLine – ein Leichtgewicht mit nur 180 g und besonders energiesparend (3 W) – liefert dabei die exakte Position des FOUPs. Informationen über die FOUPs und damit den Standort der Wafer in der Fertigung sind Voraussetzung für eine effektive Prozesskontrolle. Ob RFID, 1D- oder 2D-Codeleser – nach dem 4Dpro-Konzept von SICK verfügen alle über gleiche Anschlusstechnik und Bedienoberflächen und lassen sich dadurch problemlos integrieren.