Automatische Load-Port-Beschickung und FOUP-Identifikation

Das Risiko von Materialbruch der teuren Halbleiterwafer muss möglichst gering gehalten werden. Hierfür wird Sensorik eingesetzt, z. B. zur Überwachung, ob ein FOUP (Front Opening Unified Pod) beim Absenken nicht zu sehr schwankt. Die Miniatur-Lichtschranke WL100L erkennt diese unerwünschten Bewegungen. Als Lasersensor der Klasse 1 ist sie für den Bediener gefahrlos. Der Seilzug-Encoder EcoLine – ein Leichtgewicht mit nur 180 g und besonders energiesparend (3 W) – liefert dabei die exakte Position des FOUPs. Informationen über die FOUPs und damit den Standort der Wafer in der Fertigung sind Voraussetzung für eine effektive Prozesskontrolle. Ob RFID, 1D- oder 2D-Codeleser – nach dem 4Dpro-Konzept von SICK verfügen alle über gleiche Anschlusstechnik und Bedienoberflächen und lassen sich dadurch problemlos integrieren.

  • Folgende Produktfamilien können eingesetzt werden
    Perfekte Sicht – bei jedem Licht
    • Leistungsfähiger DPM-Decoder
    • Unempfindlich gegen Fremdlicht
    • Lichtstarke LEDs in Rot, Blau, Infrarot
    • Umfassendes Optikzubehör wie Polfilter oder Domaufsatz
    • Einrichteassistent mit Autofokus, Laserzielhilfe, grüner Feedback-LED
    • Innovatives Datenhandling mit Sortier-, Filter- und Ausgabeformatierung
    Intelligent identifizieren mit RFID
    • 13,56-MHz-RFID-Schreib-/Lesegerät für Lesereichweiten bis 240 mm
    • Transponderkommunikation entspricht ISO-15693-Standard
    • Kompakte, industriegerechte Bauform mit integrierter Antenne
    • Eingebundene Protokolle erlauben Zugang zur Standard-Feldbustechnik
    • Leistungsfähiger Prozessor löst selbstständig Steuerungsaufgaben
    • Flexible Triggersteuerung
    • Unterstützt Parameter-Cloning mittels MicroSD-Speicherkarte
    • Integrierte Diagnosefunktion
    Leistungsstarker Scanner – flexibler Einsatz
    • CAN, Ethernet TCP/IP, PROFINET und EtherNet/IP on board. Kein zusätzliches Ethernet-Gateway nötig (bei Anschlussart “Ethernet”)
    • SMART620-Code-Rekonstruktion
    • Hochflexible Sortier- und Filterfunktionen
    • Konfiguration mit SOPAS, dem Parametrierungstool für alle neuen SICK-Produkte
    • Hohe Scanfrequenz bis 1.200 Hz
    • Kleine Bauform
    • Erweiterte Ferndiagnose- und Netzwerküberwachungsfunktionen über Ethernet verfügbar
    • Schutzart IP 65 oder IP 69K (typabhängig)
    Modularer Seilzug-Encoder in Kleinstbauform
    • Messlängen: 1,25 m ... 10 m
    • Modulares Messsystem mit einer großen Auswahl an Schnittstellen/Messlängen
    • Sehr kleines, schlankes Gehäuse (55 mm ... 190 mm) mit in Messtrommel integrierter Feder
    • Leichtes, aber stoßfestes und temperaturbeständiges Kunststoffgehäuse
    • Analogschnittstelle mit Teach-in-Funktion am Encoder
  • Folgende Produkte können eingesetzt werden
    Lichttaster und Lichtschranken
    W100 Laser
    • Schaltabstand max.: 0,08 m ... 12 m
    • Sensorprinzip: Reflexions-Lichtschranke
    • Detektionsprinzip: Doppellinse
    • Schaltausgang: PNP
    • Schaltart: Hell-/dunkelschaltend
    • Anschlussart: Leitung, 3-adrig, 2 m
    • Lichtsender: Laser
    • Einstellung: Potentiometer
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    Lichttaster und Lichtschranken
    W100 Laser
    • Schaltabstand max.: 0,08 m ... 12 m
    • Sensorprinzip: Reflexions-Lichtschranke
    • Detektionsprinzip: Doppellinse
    • Schaltausgang: NPN
    • Schaltart: Hell-/dunkelschaltend
    • Anschlussart: Leitung, 3-adrig, 2 m
    • Lichtsender: Laser
    • Einstellung: Potentiometer
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    Lichttaster und Lichtschranken
    W100 Laser
    • Schaltabstand max.: 0,08 m ... 12 m
    • Sensorprinzip: Reflexions-Lichtschranke
    • Detektionsprinzip: Doppellinse
    • Schaltausgang: NPN
    • Schaltart: Hell-/dunkelschaltend
    • Anschlussart: Stecker M8, 3-polig
    • Lichtsender: Laser
    • Einstellung: Potentiometer
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    Lichttaster und Lichtschranken
    W100 Laser
    • Schaltabstand max.: 0,08 m ... 12 m
    • Sensorprinzip: Reflexions-Lichtschranke
    • Detektionsprinzip: Doppellinse
    • Schaltausgang: PNP
    • Schaltart: Hell-/dunkelschaltend
    • Anschlussart: Stecker M8, 3-polig
    • Lichtsender: Laser
    • Einstellung: Potentiometer
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    Lichttaster und Lichtschranken
    W100 Laser
    • Schaltabstand max.: 0,08 m ... 12 m
    • Sensorprinzip: Reflexions-Lichtschranke
    • Detektionsprinzip: Doppellinse
    • Schaltausgang: NPN
    • Schaltart: Hell-/dunkelschaltend
    • Anschlussart: Stecker M8, 4-polig
    • Lichtsender: Laser
    • Einstellung: Potentiometer
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    Lichttaster und Lichtschranken
    W100 Laser
    • Schaltabstand max.: 0,08 m ... 12 m
    • Sensorprinzip: Reflexions-Lichtschranke
    • Detektionsprinzip: Doppellinse
    • Schaltausgang: PNP
    • Schaltart: Hell-/dunkelschaltend
    • Anschlussart: Stecker M8, 4-polig
    • Lichtsender: Laser
    • Einstellung: Potentiometer
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    Lichttaster und Lichtschranken
    W100 Laser
    • Schaltabstand max.: 0,08 m ... 12 m
    • Sensorprinzip: Reflexions-Lichtschranke
    • Detektionsprinzip: Doppellinse
    • Schaltausgang: PNP
    • Schaltart: Hell-/dunkelschaltend
    • Anschlussart: Stecker M8, 3-polig
    • Lichtsender: Laser
    • Einstellung: Potentiometer
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    Lichttaster und Lichtschranken
    W100 Laser
    • Schaltabstand max.: 0,08 m ... 12 m
    • Sensorprinzip: Reflexions-Lichtschranke
    • Detektionsprinzip: Doppellinse
    • Schaltausgang: PNP
    • Schaltart: Hell-/dunkelschaltend
    • Anschlussart: Leitung mit Stecker M12, 4-polig, 0,2 m
    • Lichtsender: Laser
    • Einstellung: Potentiometer
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    Lichttaster und Lichtschranken
    W100 Laser
    • Schaltabstand max.: 0,08 m ... 12 m
    • Sensorprinzip: Reflexions-Lichtschranke
    • Detektionsprinzip: Doppellinse
    • Schaltausgang: PNP
    • Schaltart: Hell-/dunkelschaltend
    • Anschlussart: Leitung mit Stecker M12, 4-polig, 0,2 m
    • Lichtsender: Laser
    • Einstellung: Potentiometer
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    Lichttaster und Lichtschranken
    W100 Laser
    • Schaltabstand max.: 0,08 m ... 12 m
    • Sensorprinzip: Reflexions-Lichtschranke
    • Detektionsprinzip: Doppellinse
    • Schaltausgang: PNP
    • Schaltart: Hell-/dunkelschaltend
    • Anschlussart: Leitung mit Stecker M8, 3-polig, 200 mm
    • Lichtsender: Laser
    • Einstellung: Potentiometer
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    Lichttaster und Lichtschranken
    W100 Laser
    • Schaltabstand max.: 0,08 m ... 12 m
    • Sensorprinzip: Reflexions-Lichtschranke
    • Detektionsprinzip: Doppellinse
    • Schaltausgang: PNP
    • Schaltart: Hell-/dunkelschaltend
    • Anschlussart: Leitung mit Stecker M12, 4-polig, 290 mm
    • Lichtsender: Laser
    • Einstellung: Potentiometer
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    Lichttaster und Lichtschranken
    W100 Laser
    • Schaltabstand max.: 0,08 m ... 12 m
    • Sensorprinzip: Reflexions-Lichtschranke
    • Detektionsprinzip: Doppellinse
    • Schaltausgang: PNP
    • Schaltart: Hell-/dunkelschaltend
    • Anschlussart: Leitung mit Stecker M8, 3-polig, 200 mm
    • Lichtsender: Laser
    • Einstellung: Potentiometer
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