Höhenmessung zur Fokusverstellung

Hochgenaue Inspektions- und Lasersysteme in der Halbleiter- oder Displayproduktion erfordern Optiksysteme mit sehr präziser Fokussierung. Der Displacement-Messsensor OD5000 kann mit bis zu 80.000 Messungen pro Sekunde ein mikrometergenaues Höhenprofil des Substrats erfassen. Diese Daten ermöglichen, die Fokuslage zu steuern und so optimale Prozessergebnisse zu erzielen.

  • Folgende Produktfamilien können eingesetzt werden
    Der leistungsstarke Messexperte
    • Messfrequenz bis zu 80 kHz
    • Ethernetschnittstelle mit TCP/IP-Protokoll direkt im Sensorkopf
    • Webserveroberfläche zur Parametrierung
    • Innovativer Auswertealgorithmus
    • Höchste Wiederholgenauigkeit für Positionieraufgaben
    • Erkennen und Messen von kleinsten Vertiefungen oder Löchern