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Automatisierung in den Prozessmaschinen

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Zuverlässige Detektion in aggressiver Prozessumgebung
Applikation
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Positionsüberwachung von Wafercarriern
Applikation
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Füllstandmessung korrosiver Chemikalien
Applikation
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Notch-Erkennung an Halbleiterwafern
Applikation
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Genaue Waferzuordnung in Magazinen
Applikation
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Höhenmessung zur Fokusverstellung
Applikation
Höhenmessung zur Fokusverstellung
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Applikation
Anwesenheits- und Positionskontrolle am Waferroboter
Höhenmessung zur Fokusverstellung
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Schnelle und exakte Waferdetektion
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Positionsermittlung von Waferrobotern über Motor-Feedback
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Detektion von Lecks in Chemikalientanks
Höhenmessung zur Fokusverstellung
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Messung von Schichtdicken auf Halbleiterwafern
Höhenmessung zur Fokusverstellung
Applikation
Sichere Türüberwachung bei der Produktion von Halbleiterwafern
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