电子、半导体、太阳能和电池行业中的恶劣环境条件

电子元件是我们日常生活的一部分。无论是在移动设备的半导体芯片中，用于发电的太阳能模块中，还是在电动公交车和汽车的电池中，电子元件都扮演着越来越重要的角色。

这些技术的自动化生产非常昂贵。需要真空和高温环境并使用侵蚀性化学品。

这些要求不仅会影响生产基地和相应的机器。对传感器解决方案也会构成新的挑战。如何才能解决这些挑战？

特殊的生产流程必须在高温作用下开展。在此可能需要 100 °C 和更高的温度。在这种生产环境之内或附近，需要在这些温度下使用不会造成任何损害的传感器解决方案。

化学品可以是最终产品的一部分，例如电池中的电解质，也可用作蚀刻或其他化学流程的辅助工具，例如在太阳能和半导体行业中。

暴露于这些化学品的传感器必须具备采用高耐抗性材料的特殊外壳。尽管在某些情况下不锈钢外壳就已足够，但对于腐蚀性非常强的化学品，必须使用特富龙等特殊材料。

真空室和真空环境为自动化组件创造了关键的环境条件。因此，真空可能导致所谓的放气。这被称为气体逸出，在最坏的情况下可能对产品质量造成负面影响。为防止这种情况，必须使用特殊的材料和制造工艺。

应用示例

借助严格密封的不锈钢膜，带可旋转显示元件的压力传感器 PFT 和 PBS 即使在高腐蚀性环境和高温下也能可靠工作，并且耐抗分解损坏。活动部件无磨损，因此几乎免维护。

晶片载体的位置可通过绝对值编码器可靠地测定：垂直轴上通过 AFS60 单圈型，水平轴上通过 AFM60 多圈型。通过现场总线和工业以太网接口，该编码器能够轻易而经济地集成到机器控制器中，即使在高温等极端环境条件下也可使用。

磁性气缸传感器 MZT8 适用于监控流程或搬运机器中气缸的位置。得益于高达 100 °C 的耐温性，它们即使在这些极端环境条件下也能确保可靠运行。

在湿法工艺中使用的化学品存储在机器的工艺罐中，有时非常危险。为实现人员和流程防护，必须安全检测泄漏，并由操作人员立即清除溢出的化学品。光纤传感器 WLL180T 可结合包裹 PTFE 的光导纤维体 LL3-DW02 可靠地将收集槽中的化学品报告给机器中集成的安全控制器 Flexi Soft。

腐蚀性化学品用于半导体和太阳能晶片生产的各个阶段，并存储在储罐中。带有 PTFE 涂层薄膜和法兰区域中 PTFE 外壳的超声波液位传感器 UP56 Pure 准确测定储罐中的液位。它具有模拟和数字输出，便于实现电气集成。它在机械上可与工业标准接口兼容。

微型光电传感器 W4-3 Teflon 根据外壳防护等级分级属于 IP69K，因此适用于化学环境中。由于 SICK 的传感器方案故障平均时间间隔长，即使是在要求极高的应用条件下也能胜任。

可使用 SICK 的光纤传感器解决真空环境中的基材检测问题。特殊光导纤维体可以直接在真空室中使用。或者，在支持总线的特殊变型中，可从外部确保通过所谓的观察玻璃观察真空室内部的多个传感器不会相互干扰。