L’électronique fait partie de notre quotidien. Qu’il s’agisse de puces à semi-conducteur d’appareils mobiles, de modules solaires pour la production d’électricité ou des batteries des bus et voitures électriques, l’électronique joue un rôle grandissant.
La production automatisée de ces technologies est très compliquée. Des environnements sous vide et haute température sont nécessaires et des produits chimiques agressifs sont utilisés.
Ces exigences ont non seulement un effet sur les sites de production et les machines correspondantes. De nouveaux défis s’imposent également aux solutions de détection. Comment peut-on les réaliser ?
Résistance élevée aux températures
Les processus de production spécifiques doivent avoir lieu sous l’effet de températures élevées. 100 °C et plus peuvent alors être nécessaires. A l’intérieur ou aussi à proximité immédiate de ce genre d’environnements de production, on a besoin de solutions de détection qui peuvent être utilisées lors de températures aussi élevées.
Résistance chimique
Les produits chimiques peuvent faire partie du produit final, comme par ex. les électrolytes dans une batterie, ou bien ils sont utilisés comme produit auxiliaire pour le décapage ou d’autres processus chimiques, par ex. dans l’industrie solaire ou lors de la fabrication de semi-conducteurs.
Les capteurs exposés à ce genre de produits chimiques doivent être dotés de boîtiers avec des matériaux très résistants. Tandis que dans certains cas, un boîtier en inox est suffisant, il faut miser sur des matériaux spécifiques tels que le Teflon pour les produits chimiques très agressifs.
Résistance à la dépression
Les chambres sous vide et les environnements sous vide créent des conditions ambiantes critiques pour les composants d’automatisation. Une dépression peut par exemple provoquer l’échappement de gaz. Ceci peut, dans le pire des cas, avoir un effet négatif sur la qualité du produit. Pour empêcher cette fuite, il convient d’utiliser des matériaux et des procédés de fabrication spécifiques.
Exemples d’application
Résistance élevée aux températures
Surveillance de la pression de fluides abrasifs dans une scie à silicium
Grâce à la membrane en acier inoxydable fermée hermétiquement, les capteurs de pression PFT et PBS, avec élément d'affichage rotatif, fonctionnent également de façon fiable dans un environnement fortement acide et même lors de températures élevées sans dommages durables dus à la décomposition. Les composants mobiles ne s’usent pas et ils ne nécessitent donc pratiquement pas de maintenance.
Contrôle de position des chariots de wafers
Le codeur absolu peut déterminer précisément la position du chariot des wafers avec l'AFS60 simple tour sur l'axe vertical et l'AFM60 multitours sur l'axe horizontal. Grâce au bus de terrain et à l'interface Ethernet industrielle, les codeurs s'intègrent facilement et à moindres coûts dans la commande des machines et peuvent même être utilisés dans des conditions ambiantes extrêmes ainsi que des températures élevées.
Surveillance de la position de vérin à haute température
Pour surveiller la position des vérins dans les machines de processus et de manutention, les capteurs magnétiques pour vérins MZT8 sont parfaitement appropriés. Grâce à leur stabilité thermique jusqu’à 100 °C, ils assurent un fonctionnement fiable même dans ces conditions ambiantes extrêmes.
Résistance chimique
Détection de fuites dans les réservoirs de produits chimiques
Les produits chimiques utilisés dans les procédés humides se trouvent dans les réservoirs des machines et sont partiellement très dangereux. Pour protéger les personnes et les processus, les fuites et les produits chimiques qui s'écoulent doivent être détectés de façon fiable et rapidement éliminés par l'opérateur. L'amplificateur à fibres optiques WLL180T, associé aux fibres optiques gainées de PTFE LL3-DW02, signale de façon fiable les produits chimiques dans les bacs collecteurs au système de commande de sécurité Flexi Soft intégré à la machine.
Mesure de niveau des produits chimiques corrosifs dans l'installation de nettoyage des wafers
Les produits chimiques agressifs interviennent à différentes phases de la fabrication de semi-conducteurs et des wafers et sont stockés dans des réservoirs. Le capteur de niveau à ultrasons UP56 Pure avec membrane revêtue de PTFE et boîtier PTFE dans la zone de la bride détecte sûrement les niveaux de remplissage dans les réservoirs collecteurs. Il dispose de sorties analogiques et de sorties numériques, ce qui permet une intégration électrique simple. Au niveau mécanique, il est compatible avec les raccords typiques dans l'industrie.
Détection fiable dans un environnement de processus agressif
Le capteur photoélectrique miniature W4-3 Téflon avec indice de protection IP 69K convient aux environnements chimiques. Affichant un temps moyen entre les pannes relativement long, les solutions de détection de SICK ont fait leurs preuves, même dans les conditions particulièrement difficiles.
Résistance à la dépression
Détection optique et robuste dans des environnements sous vide
La détection de substrats dans des environnements sous vide est possible avec des amplificateurs à fibres optiques de SICK. Les fibres optiques spéciales s'utilisent directement dans la cloche sous vide. Ou bien elles peuvent veiller dans des variantes compatibles bus spéciales que plusieurs capteurs, regardant vers l’intérieur de la chambre au travers de jauges, n’interfèrent pas les uns avec les autres.
