Monitoramento da posição de carros de wafers
A posição do carro de wafers pode ser detectada com segurança por encoders absolutos: com o AFS60 volta única sobre o eixo vertical e com o AFM60 multivolta sobre o eixo horizontal. Graças ao barramento de campo e à interface industrial Ethernet, os encoders podem ser integrados de modo simples e a baixo custo no comando da máquina e podem ser utilizados mesmo em condições ambientais extremas tais como altas temperaturas.