Medição de altura para ajuste do foco
Sistemas de inspeção e laser de alta precisão na produção de semicondutores ou displays requerem sistemas ópticos com foco muito preciso. O sensor de medição de deslocamento OD5000 pode fazer até 80.000 medições por segundo para registrar um perfil de altura preciso em micrômetro do substrato. Estes dados permitem que a posição de foco seja controlada e, deste modo, resultados de processo otimizados sejam alcançados.
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As seguintes famílias de produtos podem ser utilizadas
O especialista em medição de alto desempenho- Frequência de medição de até 80 kHz
- Interface Ethernet com protocolo TCP/IP diretamente na cabeça do sensor
- Superfície de servidor da web para parametrização
- Algoritmo de avaliação inovador
- Altíssima precisão de repetição para tarefas de posicionamento
- Detecção e medição de rebaixos mínimos ou furos