Determinação da posição de robôs para wafers por meio de sistema de Motor Feedback
O sistema de Motor-Feedback sem contato SEK90 com detecção holística é recomendado devido a sua simplicidade e robustez e seu potencial de erros da parte mecânica é praticamente nulo. Baixíssimo peso, inércia de massa mínima, baixa altura construtiva (< 10 mm) permitem a integração simples com diferentes diâmetros da haste.