Detecção rápida e precisa de wafers
O posicionamento exato do wafer na garra do robô em relação a suas coordenadas pode ser otimizado pelo comando do controlador do robô com ajuda de vários sensores. Para isso, são necessários sensores de altíssima frequência de comutação, baixa flutuação e ponto de luz preciso. O sensor de fibra óptica WLL180T com tempo de reação de apenas 16 µs, em combinação com os cabos de fibra óptica LL3-TH de ópticas pequenas opera com precisão a baixo custo e está dimensionado perfeitamente para as exigências da máquina.