Controle de presença e de posição no robô de wafers

Duas barreiras de luz de reflexão G2F verificam a presença e a posição correta dos wafers no robô dos wafers. A precisão de detecção muito elevada das barreiras de luz de reflexão no caso de superfícies do objeto refletoras, transparentes e brilhantes, possibilita a detecção confiável dos wafers. A carcaça miniatura das G2F é ideal para a integração nas garras estreitas do robô de wafers.