Zaaglijnen inspecteren met behulp van displacement-sensoren
Door het meten van de diepte van zaaglijnen direct na het draadzagen kunnen afgekeurde wafers voor zonnecellen reeds in een vroeg stadium worden afgevoerd. De displacement-sensor OD5000 heeft een hoge meetfrequentie waardoor een superprecieze zaaglijninspectie kan worden gecombineerd met een hoge processnelheid.
-
Volgende productfamilies kunnen worden gebruikt
De krachtige meetexpert- Meetfrequentie tot 80 kHz
- Ethernet-interface met, TCP/IP-protocol direct in de sensorkop
- Webserver-gebruikersinterface voor parametrering
- Innovatief analyse-algoritme
- Hoogste herhalingsprecisie voor positioneeropgaven
- Herkennen en meten van zeer kleine verlagingen of gaten