Automatische laadpoortbevoorrading en FOUP-identificatie

Het risico van materiaalbreuk van dure halfgeleiders moet zo klein mogelijk worden gehouden. Hiervoor worden sensoren gebruikt, bijvoorbeeld om te zorgen dat een FOUP (Front Opening Unified Pod) bij het omlaag laten niet te veel schommelt. De miniatuur-sensor WL100L herkent deze ongewenste bewegingen. Als Class 1.0 lasersensor levert deze voor de operator geen gevaar op. De trekdraadencoder EcoLine – een lichtgewicht apparaat van slechts 180 g en zeer energiezuinig (3 W) – levert daarbij de exacte positie van de FOUP. Informatie over de FOUP's en daarmee de locatie van de wafers bij de fabricage zijn een voorwaarde voor een effectieve procescontrole. Of het nu gaat om RFID, 1D- of 2D-codelezers – volgens het 4Dpro-concept van SICK beschikken ze allemaal over dezelfde aansluitmodule en bedieningsinterfaces en kunnen ze daardoor probleemloos worden geïntegreerd.