Anforderung: Prozessüberwachung und Kontrolle, Qualitätskontrolle, Gesetzeskonformität
HCl-Konzentrationen überwachen – in kleinen Bereichen mit hoher Genauigkeit messen
Es ist nicht zu vermeiden. Der Einsatz von Chemikalien ist bei der Herstellung von Halbleitern und LCD-Bildschirmen nicht wegzudenken. Dabei werden auch Lösemittel und saure Dämpfe freigesetzt. Bevor aber hohe Konzentrationen giftiger und aggressiver Substanzen durch den Schornstein gejagt werden, ist die Abluft auf die erlaubten HCl-Emissionsgrenzwerte abzureinigen. Der Nasswäscher ist eine einfache Methode zur Gasreinigung und zur Entfernung wasserlöslicher Substanzen. Denn das, was am Ende rauskommt, muss so sauber wie möglich sein – der jährliche Masseausstoß von HCl ist limitiert. Deshalb ist zur Kontrolle und Überwachung die kontinuierliche Bestimmung der Gaskonzentration nach dem Wäscher ein absolutes Muss. Dabei darf der Wassergehalt das Messergebnis nicht verfälschen. Der Gasanalysator hat also zusätzlich zum HCl auch H2O zu bestimmen. Die Wäscher arbeiten so effektiv, dass sehr niedrige Konzentrationen unter 3 ppm HCl zu erfassen sind. SICK hat hierfür die Messlösung.
Auf 120 oC beheizte Gaswege erlauben die schwierige Messung von HCl
Die notwendigen Messungen und Analysen werden am Ausgang „Waschanlage”, also hinter dem Nasswäscher, durchgeführt. Der MCS100E Ca ist eine von SICK speziell auf die Kundenanforderungen maßgeschneiderte Geräteausführung des MCS100E HW – ein Analysensystem mit Heißmesstechnik. Im NDIR-Verfahren wird das HCl mit einer Genauigkeit von +/- 2% unter 10 ppm gemessen. Da der Wassergehalt herausgerechnet werden muss, um standardisierte Messergebnisse bei der HCl-Messung zu erhalten, sind sowohl die Filtereinheiten als auch die Probenleitung auf 120 oC beheizt, um ein Kondensieren zu vermeiden. Durch die Anwendung einer Messzelle mit Spiegeln wird eine besonders hohe Empfindlichkeit erreicht. Die Entscheidung fiel auf SICK und auf ihr extraktives Messsystem MCS100E, denn für In-situ-Messgeräte sind die Durchmesser der Abgaskamine zu klein. Das Messsystem kann auch in einen Analysencontainer eingebaut werden, um so die Wartungsarbeiten zu erleichtern und das Messgerät vor Umwelteinflüssen zu schützen.
Durch die Erfassung kleinster HCl-Konzentrationen können die Produktionskapazitäten voll ausgenutzt werden.Das MCS100E HW zeichnet sich durch Messergebnisse mit hoher Stabilität und hoher Linearität aus – und misst HCl mit einer Genauigkeit von +/- 2% unter 10 ppm. Seit 25 Jahren messen SICK-Gasanalysatoren erfolgreich im Bereich Emissionsmessung, erfüllen hohe Ansprüche an Messkomfort, sind wartungsarm und nehmen es mit sehr schwierigen Messbedingungen auf. Je nach Anforderung können wir Ihnen ein In-situ oder extraktives Messgerät empfehlen.
Industrie: Elektronik